Lỗi cảm biến áp suất?
Thứ nhất, lỗi bù: Vì độ lệch dọc của cảm biến áp suất không đổi trong toàn bộ dải áp suất, những thay đổi trong độ khuếch tán của bộ chuyển đổi và hiệu chỉnh điều chỉnh laze sẽ dẫn đến lỗi bù.
Thứ hai, có lỗi độ nhạy: độ lớn của lỗi được tạo ra tỷ lệ thuận với áp suất. Nếu độ nhạy của thiết bị cao hơn giá trị thông thường, lỗi độ nhạy sẽ là một chức năng tăng dần của áp suất. Nếu độ nhạy thấp hơn giá trị điển hình, lỗi độ nhạy sẽ là hàm giảm dần của áp suất. Lý do của lỗi này là do những thay đổi trong quá trình khuếch tán.
Thứ ba là sai số tuyến tính: đây là yếu tố có tác động không nhỏ đến sai số ban đầu của cảm biến áp suất. Nguyên nhân của lỗi này là do tính phi tuyến tính vật lý của tấm silicon, nhưng đối với cảm biến có bộ khuếch đại, tính phi tuyến tính của bộ khuếch đại cũng nên được đưa vào. Đường cong sai số tuyến tính có thể là đường cong lõm hoặc đường cong lồi đối với cảm biến cân.
Cuối cùng là sai số trễ: Trong hầu hết các trường hợp, sai số trễ của cảm biến áp suất hoàn toàn có thể bỏ qua do các tấm silicon có độ cứng cơ học cao. Nói chung, lỗi trễ chỉ cần được xem xét trong các trường hợp áp suất thay đổi đáng kể.
